最近，中國科學(xué)院上海硅酸鹽研究所王士維研究員帶領(lǐng)的科研團隊與企業(yè)合作，基于具有自主知識產(chǎn)權的異丁烯和馬來(lái)酸酐的共聚物（PIBM）多官能團共聚物自發(fā)凝固成型體系（spontaneous gelation），突破大尺寸陶瓷濕坯在干燥過(guò)程中的變形和開(kāi)裂等關(guān)鍵瓶頸問(wèn)題，成功制備出直徑360mm至600mm的大尺寸高純氧化鋁陶瓷研磨盤(pán)。
大尺寸結構陶瓷部件在半導體制造裝備等領(lǐng)域有著(zhù)廣泛的應用，但大尺寸陶瓷部件的成型極具挑戰性。PIBM自發(fā)凝固成型技術(shù)與經(jīng)典的冷等靜壓成型和注漿成型相比，注凝成型（gelcasting，或稱(chēng)凝膠注模）具有突出的優(yōu)勢：素坯微結構均勻，從根本上保證陶瓷部件的可靠性；素坯強度和密度高，方便搬運，能夠有效減小燒結收縮和開(kāi)裂的風(fēng)險；近凈尺寸成型，可以大幅度減少機械加工成本。此外，注凝成型工藝裝備簡(jiǎn)單，可以有效降低生產(chǎn)投入成本，在制備大尺寸陶瓷部件方面具有巨大的應用潛力。然而，基于自由基聚合反應的凝膠體系存在單體有毒、氧阻聚和添加劑種類(lèi)多且添加量大等問(wèn)題；另外，陶瓷凝膠的干燥機理也未闡釋清楚，嚴重阻礙了注凝技術(shù)在大尺寸結構陶瓷部件制備和產(chǎn)業(yè)化方面的廣泛應用。
王士維研究團隊自2003年起就開(kāi)始新型凝膠固化體系的探索研究。首先發(fā)展了基于親核加成聚合反應的水溶性環(huán)氧樹(shù)脂-多胺凝膠體系（J. Am. Ceram. Soc.，2008），先后成功應用于致密Al2O3、AlN和SiC，半透明Al2O3、透明Y2O3、YAG和AlON以及泡沫Al2O3等先進(jìn)陶瓷的成型。2011年，該團隊在采用PIBM制備Al2O3陶瓷漿料的研究中，發(fā)現了自發(fā)凝固現象（J. Mater. Res.，2013）。隨后，重點(diǎn)開(kāi)展了PIBM自發(fā)凝固體系的普適性、陶瓷凝膠的干燥機理、預燒過(guò)程坯體內應力以及大尺寸陶瓷部件制備技術(shù)開(kāi)發(fā)等工作。
相比于其它凝膠體系，PIBM自發(fā)凝固體系具有添加劑種類(lèi)少、添加量少以及操作簡(jiǎn)便等顯著(zhù)優(yōu)勢。在常溫大氣環(huán)境下，僅采用一種有機共聚物，就可以實(shí)現Al2O3的自發(fā)凝固成型，所制備的Al2O3陶瓷濕坯具有良好的柔韌性。同時(shí)，該凝固體系具有廣泛的普適性，已成功應用于多種氧化物和非氧化物體系的多孔、致密和透明陶瓷的制備。通過(guò)比較環(huán)氧樹(shù)脂-多胺凝膠體系和PIBM自發(fā)凝固體系的干燥過(guò)程，該團隊發(fā)現有機網(wǎng)絡(luò )的疏密程度顯著(zhù)地影響著(zhù)陶瓷濕坯的干燥行為。PIBM自發(fā)凝固體系形成的有機網(wǎng)絡(luò )有利于水分輸運，干燥應力更容易釋放，坯體干燥后不變形；而環(huán)氧樹(shù)脂-多胺凝膠體系形成的有機網(wǎng)絡(luò )阻礙水分輸運，干燥應力大，坯體易干燥變形。
PIBM自發(fā)凝固成型技術(shù)可制備直徑360mm-600mm多種規格的高純氧化鋁研磨盤(pán)，為規?；a(chǎn)大尺寸氧化鋁產(chǎn)品奠定了堅實(shí)基礎。
PIBM自發(fā)凝固成型技術(shù)應用于大尺寸先進(jìn)陶瓷材料的制備，具有顯著(zhù)的原創(chuàng )性和先進(jìn)性，將為我國半導體制造裝備國產(chǎn)化所需的大尺寸陶瓷部件提供一條新的低成本制造方法。該研究獲得中科院平湖新材料中心項目、上海市優(yōu)秀技術(shù)帶頭人項目、國家自然科學(xué)基金面上項目和科技部重點(diǎn)研發(fā)計劃支持。